壓電物鏡掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體，具有四個外部電極和連續(xù)的內(nèi)部電極。當電壓施加到外部電極之一時，相應區(qū)域的致動器管壁膨脹，這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。
壓電物鏡掃描器在驅動內(nèi)部電極配置中，X和Y電極以標準方式相等且相反極性的電壓驅動。通過向內(nèi)部電極施加滿量程負電壓，獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場強度，其通常是負電場強度的五倍。要注意不要對內(nèi)部電極施加正電壓，因為這會導致去極化。
壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內(nèi)部電極是連續(xù)的，外部電極是四分區(qū)的。通過用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極。可根據(jù)要求提供定制電極配置。在需要高磁場的應用中，鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟的選擇，但金電極具有優(yōu)異的耐腐蝕性和導電性。
納米光刻技術是制作納米結構的基礎，激光光刻是納米光刻最主流的方式之一，特別是光子晶體，超材料的發(fā)展在很大程度上依賴于激光光刻技術的進步，納米結構器件必將成為未來集成電路的基礎。
光刻過程是指放置在電動平臺上的光刻膠基片隨著電動平臺的轉動和平移，由聲光調(diào)制器控制光束的強弱對光刻膠進行變劑量曝光，通常電動平臺的定位精度達到微米或亞微米量級。然而由于慣性、靜摩擦、松動等所造成的電動平臺螺距誤差與偏移，將直接影響著系統(tǒng)的性能和光刻元件的質(zhì)量。
