精密掃描臺(tái)為1-3維直線(xiàn)掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm的高速掃描，大通光孔徑為?35mm，多種位移行程及規(guī)格型號(hào)可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。
精密掃描臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，壓電掃描臺(tái)中心具有通孔且體積小巧、無(wú)摩擦、分辨率高、響應(yīng)速度快，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有*的可靠性。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統(tǒng)等。
精密掃描臺(tái)由容性負(fù)載驅(qū)動(dòng)，可產(chǎn)生毫秒級(jí)的響應(yīng)時(shí)間，響應(yīng)速度非?？?，同時(shí)由于自身的材料特性，使其在使用過(guò)程中不受干擾，能夠?qū)崿F(xiàn)最大的性能輸出。
壓電納米運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。同時(shí)壓電效應(yīng)將電能直接轉(zhuǎn)換為運(yùn)動(dòng)，在靜態(tài)操作時(shí)，即使在負(fù)載情況下，也不會(huì)消耗功率。
壓電掃描臺(tái)應(yīng)用說(shuō)明：
1、原子力顯微鏡：
閉環(huán)納米定位掃描臺(tái)作為原子力顯微鏡的一部分，可帶動(dòng)樣品進(jìn)行高速精密運(yùn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)X、Y、Z軸最大375μm的掃描，分辨率為亞納米級(jí)，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)亞毫秒。
2、三維共焦顯微：
三維共聚焦顯微拉曼光譜分析儀器，能在納米范圍內(nèi)測(cè)量物質(zhì)化學(xué)狀態(tài)的三維圖像。壓電物鏡驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)對(duì)顯微鏡在Z軸方向上的納米級(jí)在線(xiàn)實(shí)時(shí)調(diào)焦，XY二維壓電掃描臺(tái)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)物高精度的二維平面位移運(yùn)動(dòng)。
3、紅外熱成像掃描：
紅外熱成像通過(guò)紅外敏感CCD對(duì)物體進(jìn)行成像，能反映出物體表面的溫度場(chǎng)。二維壓電掃描臺(tái)的高速高精度掃描大大提高了熱成像的分辨率。
